產(chǎn)品分類
Products新品發(fā)布!京都玉崎銷售 螺桿型干泵MS系列
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計。
特點
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,以防腐蝕。
采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸,實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。